日立离子溅射仪MC1000采用了电磁管电极，能够减轻对样品的损坏，并在样品表面涂覆一层均匀粒子。适用于高分辨率的扫描式电子显微镜。

最大样品直径：60 mm

最大样品高度：20 mm

特点：

采用LCD触摸屏，可以更加简便地设定加工条件

可处理较厚或较大的样品(选配件)

记忆功能可存储常用加工